75°C 溫度下，加熱泵最高轉速時的氬氣流量

8.5 hPa·l/s

75°C 溫度下，加熱泵最高轉速時的氮氣流量

16.9 hPa·l/s

I/O 接口

通過外部驅動電子裝置

冷卻水流量

60 l/h

冷卻水溫度

15-25 °C | 59-77 °F | 288-298 K

冷卻類型

水

啟動時間

< 6 min

聲壓水平

≤48 dB(A)

安裝方向

隨意

最大耗電量

650 W

最終壓力

< 6 · 10-9 hPa | < 4.5 · 10-9 Torr | < 6 · 10-9 mbar

最終壓力下的功耗

300 W

氫氣抽氣速度

540 l/s

氫氣的壓縮比

> 5 · 102

氫氣的氣流量

> 67.6 hPa·l/s

氦氣的壓縮比

> 4 · 103

氦氣的抽氣速率

940 l/s

氬氣抽氣速率

1280 l/s

氬氣的壓縮比

> 1 · 108

氬的氣流量

20.3 hPa·l/s

氮的氣流量

67.6 hPa·l/s

氮氣的壓縮比

> 1 · 108

用于氮氣的抽氣速度

1360 l/s

電子驅動單元安裝類型

外部電子驅動單元 –不包含-

電源包的位置

外部電源包

腐蝕性氣體型

是

轉速 ± 2 %

39,000 rpm | 39,000 min-1

軸承

磁鐵

輸入電壓

200 – 240 V AC, 50/60 Hz  

連接法蘭（入口）

DN 200 CF-F

連接法蘭（出口）

DN 40 ISO-KF

適用于氮氣的前級真空最大值

2.2 hPa | 1.65 Torr | 2.2 mbar

重量

34 kg | 74.96 lb

顆粒吸入

是